[最新世代]NVIDIA GeForce RTX40XX総合 Part7

695 ：Socket774 ：2022/03/19(土) 19:06:36.90 ID:J3PVuiMk0.net

>>692
いや、だから次世代のTSMC 5nm EUVにネオンは使われないから
ネオン使うのはDUV

＞特にDUV露光用エキシマレーザーに必要な不活性ガス混合物にネオンガスは含まれており、代替は困難である。ネオンガスを必要とする半導体リソグラフィプロセスは、主に200mmウェハにおける180nmプロセスから300mmウェハにおける1Xnmプロセスまで幅広く使われている。

https://news.mynavi.jp/techplus/article/20220218-2275882/